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真空微調(diào)閥
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真空微調(diào)閥(又稱真空針閥)是靠螺桿傳動來調(diào)節(jié)錐形針和孔的縫隙長度，改變閥座流導(dǎo)值。是用來向真空系統(tǒng)中充氣并可精確調(diào)節(jié)進氣流量，以控制和調(diào)節(jié)系統(tǒng)內(nèi)的真空度。適用的工作介質(zhì)為不含顆?；覊m的空氣及非腐蝕性氣體.